【立川】セキコーポレーション（東京都八王子市）、菊地製作所（同）など東京多摩地区の中小企業６社と、大学、研究施設など計１２機関による「金属MEMS（微小電気機械システム）研究グループ」は、歯の長さが０.２ミリメートルという業界最小レベルの小型ステンレス製歯車の製造に成功した。それぞれの加工技術を組み合わせ、専用のプレス加工機と精密金型を開発し実現した。同研究グループではDNAチップ部品などバイオ・医療分野で需要があるとみて、量産システムの確立を目指す。

金属MEMS研究グループは、MEMS用金属材料の量産化に焦点を当て、０３年から研究を行ってきた。機械や電子などの製造分野で利用されるプレス金型技術の用途拡大を目指している。

小型ステンレス製歯車の開発では、精密成形技術を持つセキが中心となってプレス加工機を開発。東成エレクトロビーム（東京都瑞穂町）の電子ビームによる微細加工などで、面粗度０.１マイクロメートルの精密金型を製作した。ミクロンエンジニアリング（同八王子市）、東京都立産業技術研究所（同北区）などが加わり、プレスによる安定したマイクロメートルレベルの金属加工法を確立した。

この取り組みは、中小企業基盤整備機構の「戦略的基盤技術力強化事業」の採択事業の一環。同研究グループでは、０５年度中にマイクロメートルレベルの一体成形システムを確立する。